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Electrochemical etching of AlGaN for the realization of thin-film devices

机译：AlGaN的电化学蚀刻实现薄膜装置的实现

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Michael A. Bergmann; Johannes Enslin; Rinat Yapparov; Filip Hjort; Björn Wickman; Saulius Marcinkevičius; Tim Wernicke; Michael Kneissl; Åsa Haglund;
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年度 2019
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