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Evaluation of microlithographic performance of ‘deep UV’ resists: Synthesis, and 2D NMR studies on alternating ‘high ortho’ novolak resins

机译:评价“深紫色”抗蚀剂的微刻度性能:合成和2D NMR研究交替的“高邻”酚醛清漆树脂

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