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【2h】

A compact low-cost low-maintenance open architecture mask aligner for fabrication of multilayer microfluidics devices

机译：一种紧凑的低成本低维护开放式架构掩模控制器，用于制造多层微流体装置

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Q. L. Pham; N. A. N. Tong; A. Mathew; S. Basuray; R. S. Voronov;
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年度 2018
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