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【2h】

Approximate methods for the optical characterization of inhomogeneous thin films: Applications to silicon nitride films

机译：非均匀薄膜光学表征的近似方法：氮化硅膜的应用

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Ivan Ohlídal; Jiří Vohánka; Daniel Franta; Martin Čermák; Jaroslav Ženíšek; Petr Vašina;
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年度 2019
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