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【2h】

Site-controlled fabrication of silicon nanotips by indentation-induced selective etching

机译：通过压痕诱导的选择性蚀刻的硅纳米的站点控制的制造

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Chenning Jin; Bingjun Yu; Xiaoxiao Liu; Chen Xiao; Hongbo Wang; Shulan Jiang; Jiang Wu; Huiyun Liu; Linmao Qian;
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年度 2017
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1. Site-controlled fabrication of silicon nanotips by indentation-induced selective etching [J] . Jin Chenning, Yu Bingjun, Liu Xiaoxiao, Applied Surface Science . 2017,第deca15期

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2. Fabrication of silicon nanotip arrays with high aspect ratio by cesium chloride self-assembly and dry etching [J] . Xinshuai Zhang, Jing Liu, Bo Wang, AIP Advances . 2014,第3期

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3. The fabrication of patternable silicon nanotips using deep reactive ion etching [J] . Chang Kim Kang, Sang Min Lee, Im Deok Jung, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2008,第7期

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4. Sharp Needles: Fabrication of Tungsten Nanotips by AC Electrochemical Etching and Laser Enhanced Etching for Nanoprobing on Interconnects of Advanced Technology Nodes [C] . M. K. Dawood, Z. H. Mai, T. H. Ng, Materials Research Society Symposium on Electrical Contacts to Nanomaterials and Nanodevices . 2013

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7. Fabrication of silicon nanotip arrays with high aspect ratio by cesium chloride self-assembly and dry etching [O] . Xinshuai Zhang, Jing Liu, Bo Wang, 2014

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