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【2h】

Metastable Tantalum Oxide Formation During the Devitrification of Amorphous Tantalum Thin Films

机译：无定形钽薄膜透透中期间的亚料钽氧化物形成

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Olivia K. Donaldson; Khalid Hattar; Jason R. Trelewicz;
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年度 2016
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