机译:使用各向异性蚀刻和氧化锐化制造的MEMS闪光光栅
机译:高速MEMS光栅激光扫描仪,具有使用单掩模延迟蚀刻技术制造的背面减薄的光栅平台
机译:X射线衍射光栅:通过各向异性湿蚀刻精确控制超低闪耀角
机译:利用硅的各向异性刻蚀制造闪耀的光栅和磨料
机译:使用硅的氢氧化钾各向异性刻蚀制造的场发射器件。
机译:球面光刻技术结合金属辅助化学刻蚀和各向异性化学刻蚀在Si(111)衬底上制造的三角形孔阵列
机译:采用各向异性湿法刻蚀技术制作的低损耗硅波导和光栅耦合器
机译:N-Gaas中炽热阶梯光栅的光电化学刻蚀。