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【2h】

Gas-phase surface functionalization of SiNx with benzaldehyde to increase SiO2 to SiNx etch selectivity in atomic layer etching

机译：SINX与苯甲醛的气相表面官能化将SIO2增加到SINX蚀刻选择性原子层蚀刻

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Ryan J. Gasvoda; Zhonghao Zhang; Eric A. Hudson; Sumit Agarwal;
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年度 2021
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