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【2h】

MEASUREMENT OF THE NONLINEAR ELASTICITY OF DOPED BULK-MODE MEMS RESONATORS

机译：掺杂散装MEMS谐振器的非线性弹性的测量

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Y. Yang; E.J. Ng; V.A. Hong; C.H. Ahn; Y. Chen; E. Ahadi; M. Dykman; T.W. Kenny;
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年度 2014
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