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【2h】

Design and Fabrication of a 2-Axis Electrothermal MEMS Micro-Scanner for Optical Coherence Tomography

机译：用于光学相干断层扫描的2轴电热MEMS微扫描仪的设计与制造

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Quentin Tanguy; Sylwester Bargiel; Huikai Xie; Nicolas Passilly; Magali Barthès; Olivier Gaiffe; Jaroslaw Rutkowski; Philippe Lutz; Christophe Gorecki;
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年度 2017
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1. Design and Fabrication of a 2-Axis Electrothermal MEMS Micro-Scanner for Optical Coherence Tomography ?￠???? [J] . Jaroslaw Rutkowski, Philippe Lutz, Christophe Gorecki, Micromachines . 2017,第5期

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3. Three-dimensional optical coherence tomography employing a 2-axis microelectromechanical scanning mirror [J] . Woonggyu Jung, Jun Zhang, Lei Wang, IEEE journal of selected topics in quantum electronics . 2005,第4期

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4. A 2-axis electrothermal MEMS micro-scanner with torsional beam [C] . Quentin A. A. Tanguy, Can Duan, Wei Wang, International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics . 2016

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