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机译:在微流体分配器设备中作为牺牲层的亚大气化学气相沉积(SACVD)O3-TEOS UGS,BPSG,PSG和等离子增强化学气相沉积(PECVD)PSG膜的研究
机译:研究硬质合金切削刀具刀片(硬质合金刀具,化学气相沉积)上化学气相沉积(CVD)金刚石涂层的附着力的机械和物理问题。
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机译:用Fe + B离子植入其磁性性能通过植入化学气相沉积(CVD)金刚石膜/ Si(111)的表面改性