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机译:直流和射频磁控溅射沉积在Al2O3衬底上的Ni-Cr-Si薄膜电阻的微观结构和电学特性
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:RF磁控溅射沉积的TiO2 / SiO2 / ZrO2薄膜的性质研究