机译:从气态前体的锂离子嵌入到原子层沉积中沉积的β-MnO 2薄膜中
机译:通过原子层沉积法沉积的五氧化二钒薄膜:用于研究锂嵌入引起的结构变化的模型电极
机译:Mn(thd)(3)前驱体等离子体增强原子层沉积法沉积MnO阳极和MnO2阴极薄膜
机译:用二乙基锌前驱体和硫化氢在p型GaSb(100)上沉积和表征原子层沉积ZnS薄膜
机译:金属有机化学气相沉积和原子层沉积方法,用于从二烷基酰胺前体中生长ha基薄膜,用于高级CMOS栅极堆叠应用
机译:通过原子层沉积和化学气相沉积在高纵横比结构中沉积的薄膜的ToF-SIMS 3D分析
机译:将气态前体与原子层沉积沉积的MnO 2薄膜嵌入锂离子