首页> 外文OA文献 >TiN Metal Hard Mask Removal with Selectivity to Tungsten and TiN Liner

【2h】

TiN Metal Hard Mask Removal with Selectivity to Tungsten and TiN Liner

机译：锡金属硬膜去除选择性与钨和锡衬里

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者

展开▼
作者单位

展开▼
年度 2013
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Titanium Nitride Hard Mask Removal with Selectivity to Tungsten in FEOL [J] . Hsing-Chen Wu, Sheng-Hung Tu, Min-Chieh Yang, Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena . 2016,第Null期

机译：在FEOL中对钨具有选择性的氮化钛硬掩模去除
2. Additive Manufacturing of Tungsten Carbide Hardmetal Parts by Selective Laser Melting (SLM), Selective Laser Sintering (SLS) and Binder Jet 3D Printing (BJ3DP) Techniques [J] . Padmakumar M. Lasers in Manufacturing and Materials Processing . 2020,第3期

机译：通过选择性激光熔化（SLM），选择性激光烧结（SLS）和粘合剂喷射3D印刷（BJ3DP）技术通过选择性激光熔融（SLM）和粘合剂射流件的添加剂制造
3. Selective removal of cobalt binder in surface ablation of tungsten carbide hardmetal with pulsed UV laser [J] . Li TJ., Dong JX., Wei YR., Surface & Coatings Technology . 2001,第1a3期

机译：脉冲紫外激光选择性去除碳化钨硬质合金表面烧蚀中的钴结合剂
4. TiN Metal Hard Mask Removal with Selectivity to Tungsten and TiN Liner [C] . S. Lippy, L. Chen, B. Peethala, International symposium on semiconductor cleaning science and technology;Meeting of the Electrochemical Society . 2013

机译：TiN金属硬掩模去除，对钨和TiN衬管具有选择性
5. Organometallic photonucleases. I. DNA cleavage by the photolysis of cyclopentadienyl metal complexes: Mechanistic studies and sequence selectivity of strand scission by CpW(CO)3CH3. II. Footprinting of chromatin structure and chromatin remodeling by SWI/SNF utilizing CpW(CO)3CH3. III. Dual mechanisms of DNA damage by MoX(eta3-allyl)(CO)3(phen) complexes. [D] . Downs, Jennifer. 2005

机译：有机金属光核酸酶。 I.通过环戊二烯基金属配合物的光解来切割DNA：通过CpW（CO）3CH3进行断裂的机理研究和序列选择性。二。 SWI / SNF利用CpW（CO）3CH3进行染色质结构足迹测定和染色质重塑。三， MoX（eta3-烯丙基）（CO）3（phen）复合物对DNA的双重破坏机制。
6. On the Use of EBSD and Microhardness to Study the Microstructure Properties of Tungsten Samples Prepared by Selective Laser Melting [O] . Mirza Atif Abbas, Yan Anru, Zhi Yong Wang 2021

机译：关于EBSD和微硬度研究通过选择性激光熔化制备的钨样品的微观结构性能
7. Additive Manufacturing of Cemented Tungsten Carbide with a Cobalt-Free Alloy Binder by Selective Laser Melting for High-Hardness Applications [O] . Nicholas Ku, John J. Pittari, Steven Kilczewski, 2019

机译：通过选择性激光熔化进行高硬度应用，用无钴合金粘合剂的粘合碳化钨碳化物的添加剂制造

TiN Metal Hard Mask Removal with Selectivity to Tungsten and TiN Liner

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅