首页> 外文OA文献 >The Planar Multipole Resonance Probe: A Minimally Invasive Monitoring Concept for Plasma-Assisted Dielectric Deposition Processes

【2h】

The Planar Multipole Resonance Probe: A Minimally Invasive Monitoring Concept for Plasma-Assisted Dielectric Deposition Processes

机译：平面多极共振探头：等离子体辅助介电沉积过程的微创监测概念

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Dennis Pohle; Christian Schulz; Moritz Oberberg; Peter Awakowicz; Ilona Rolfes;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2020
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. The Planar Multipole Resonance Probe: A Minimally Invasive Monitoring Concept for Plasma-Assisted Dielectric Deposition Processes [J] . Pohle Dennis, Schulz Christian, Oberberg Moritz, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques . 2020,第6期

机译：平面多极共振探头：等离子体辅助介电沉积过程的微创监测概念
2. c and monitoring using the multipole resonance probe in an inhomogeneous plasma for ion-assisted deposition of optical coatings [J] . Styrnoll T., Harhausen J., Lapke M., Plasma Sources Science & Technology . 2013,第4期

机译：c并在不均匀等离子体中使用多极共振探针进行监测，以进行离子辅助沉积的光学涂层
3. The Planar Multipole Resonance Probe: Challenges and Prospects of a Planar Plasma Sensor [J] . Schulz Christian, Styrnoll Tim, Awakowicz Peter, Instrumentation and Measurement, IEEE Transactions on . 2015,第4期

机译：平面多极共振探头：平面等离子体传感器的挑战和前景
4. A Minimally Invasive Monitoring Concept for Plasma-Assisted Surface Treatments in PET Bottles [C] . Dennis Pohle, Felix Mitschker, Jonathan Jenderny, European Microwave Conference . 2021

机译：用于PET瓶中等离子体辅助表面处理的微创监测概念
5. Inductively coupled hydrogen plasma-assisted copper atomic layer deposition on metallic and dielectric surfaces. [D] . Jezewski, Christopher John. 2005

机译：金属和电介质表面上的电感耦合氢等离子体辅助铜原子层沉积。
6. Multipole Resonance in Arrays of Diamond Dielectric: A Metamaterial Perfect Absorber in the Visible Regime [O] . Chenhui Li, Haihua Fan, Qiaofeng Dai, 2019

机译：金刚石介电体阵列中的多极共振：可见状态下的超材料完美吸收体
7. B5.3 - A Novel Diagnostic- and Monitoring System for Technological Plasmas Based on the Concept of the Multipole Resonance Probe [O] . T. Styrnoll, R. Storch, M. Lapke, 2013

机译：B5.3 - 基于多极共振探针概念的技术等离子体的新型诊断和监测系统

The Planar Multipole Resonance Probe: A Minimally Invasive Monitoring Concept for Plasma-Assisted Dielectric Deposition Processes

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅