机译:低温晶片直接键合的电容式微机械超声换能器的制备与表征
机译:绝缘体上硅衬底上的低温In-to-Si直接晶片键合的高效垂直除气通道
机译:使用MBE生长的GaAs晶片与Si晶片的低温键合在Si上制造GaAs激光二极管
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机译:晶格失配材料的无力晶圆键合:极低暗电流光电探测器的制造。
机译:低温晶片直接键合的电容式微机械超声换能器的制备与表征
机译:具有低温晶圆直接键合的电容式微机械超声换能器的制作与表征