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Monolithic Fabrication of Silicon Nanowires Bridging Thick Silicon Structures

机译：硅纳米线的单片制造桥接厚硅结构

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Zuhal Tasdemir; Oliver Peric; Davide Sacchetto; Georg Ernest Fantner; Yusuf Leblebici; B. Erdem Alaca;
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年度 2018
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1. Monolithic Fabrication of Silicon Nanowires Bridging Thick Silicon Structures [J] . Zuhal Tasdemir, Oliver Peric, Davide Sacchetto, IEEE transactions on nanotechnology . 2018,第6期

机译：硅纳米线桥接厚硅结构的单片制造
2. Single-electron transistor structures based on silicon-on-insulator silicon nanowire fabrication by scanning probe lithography and wet etching [J] . J. T. Sheu, K. S. You, C. H. Wu, Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics Processing and Phenomena . 2002,第6期

机译：基于绝缘体上硅纳米线通过扫描探针光刻和湿法蚀刻制造的单电子晶体管结构
3. Selective etching of n-type silicon in pn junction structure in hydrofluoric acid and its application in silicon nanowire fabrication [J] . Wang HQ, Jin ZH, Zheng YM, Nanotechnology . 2008,第17期

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4. Fabrication of thick silicon dioxide air-bridge for RF application using micromachining technology [C] . Jeong-Yong Park, Jun-Hwan Sim, Jang-Kyoo Shin . 2001

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5. Nano-silicide formation through point contact reaction, nickel-silicon/silicon/nickel-silicon and platinum-silicon/silicon/platinum-silicon nanowire heterostructures for nanodevices. [D] . Lu, Kuo-Chang. 2008

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7. Monolithic fabrication of silicon nanowires bridging thick silicon structures [O] . Taşdemir, Zuhal, Peric, O. 2017

机译：桥接厚硅结构的硅纳米线的整体制造

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