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【2h】

Principle of Fringe Electric Filed Driven Electrostatic Actuator with Ferroelectric Mover and Comb-shaped Electrodes

机译：铁电动器和梳形电极配合电气膜驱动静电致动器原理

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作者
Tomokazu TAKAHASHI; Hiroshi Yamada; Masato SUZUKI; Seiji AOYAGI;
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年度 2015
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