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【2h】

Strengthening of micro-cantilever by Au/Ti bi-layered structure evaluated by micro-bending test toward MEMS devices

机译：通过微弯曲试验对MEMS器件进行微弯曲测试评估的AU / TI双层结构的微悬臂

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Ken Hashigata; Tso-Fu Mark Chang; Haochun Tang; Chun-Yi Chen; Daisuke Yamane; Toshifumi Konishi; Hiroyuki Ito; Katsuyuki Machida; Kazuya Masu; Masato Sone;
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年度 2019
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