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【2h】

Chemical Etching Behavior and Mechanism of Undoped GaAs in Tartaric Acid - hydrogen Peroxide Solution Systems

机译：不掺杂GaAs在酒石酸 - 氢过氧化氢溶液系统中的化学蚀刻行为及机理

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作者
Kazuhiro SHIGYO; Sonoko UMEMURA; Kazumasa KAWASE;
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年度 2004
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