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【2h】

Decoupling Control Method for High-Precision Stages using Multiple Actuators considering the Misalignment among the Actuation Point, Center of Gravity, and Center of Rotation

机译：考虑致动点中的错位，重心和旋转中心的多功能符号的高精度阶段去耦控制方法

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Wataru Ohnishi; Hiroshi Fujimoto; Koichi Sakata; Kazuhiro Suzuki; Kazuaki Saiki;
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年度 2016
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