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【2h】

Fabrication and Normal/Shear Stress Responses of Tactile Sensors of Polymer/Si Cantilevers Embedded in PDMS and Urethane Gel Elastomers

机译：嵌入PDMS和聚氨酯凝胶弹性体的聚合物/ Si悬臂仪触觉传感器的制造和正常/剪切应力响应

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Yu Ming Huang; Masayuki Sohgawa; Kaoru Yamashita; Takeshi Kanashima; Masanori Okuyama; Minoru Noda; Haruo Noma;
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年度 2008
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1. Fabrication and Normal/Shear Stress Responses of Tactile Sensors of Polymer/Si Cantilevers Embedded in PDMS and Urethane Gel Elastomers [J] . Yu Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, 電気学会論文誌. E, センサ·マイクロマシン準部門誌 . 2008,第5期

机译：PDMS和聚氨酯凝胶弹性体中嵌入的聚合物/硅悬臂梁的触觉传感器的制作和法向/剪应力响应
2. Normal and Shear Force Measurement Using a Flexible Polymer Tactile Sensor With Embedded Multiple Capacitors [J] . Lee H.-K., Chung J., Chang S.-I., Journal of Microelectromechanical Systems . 2008,第4期

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3. Flexible tactile sensor for shear stress measurement using transferred sub-μm-thick Si piezoresistive cantilevers [J] . Kentaro Noda, Hiroaki Onoe, Eiji Iwase, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2012,第11期

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