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机译:氮化硅平台上的光子集成电路电子束光刻抗蚀剂参数的测定方法
Ilia Elmanov; Anna Elmanova; Sophia Komrakova; Alexander Golikov; Natalya Kaurova; Vadim Kovalyuk; Gregory Goltsman;
机译:氮化硅平台上光子集成电路电子束光刻抗蚀剂参数的确定方法。
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