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【2h】

Diamond growth on CoSi2/Si by bias-enhanced microwave plasma chemical vapor deposition method

机译：偏压增强微波等离子体化学气相沉积方法Cosi2 / Si上的金刚石生长

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Mao Rong Chen; Li Chang; Der Fu Chang; Hou Guang Chen;
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年度 2001
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