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机译:新型气体微加工的新型气体微型阀的设计,制造和表征
I Fazal; M C Louwerse; H V Jansen; M C Elwenspoek;
机译:使用微细加工的新型气体微阀的设计,制造和表征
机译:整体热塑性微型纤维和微泵的设计,制造和实验表征,具有矩形和半椭圆形横截面的微型液体通道
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机译:使用微细加工和精加工设计,制造和表征新型气体微型阀
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