机译:高纵横比结构中通过热线辅助原子层沉积法生长的低电阻α相钨膜
机译:钨膜的固有区域选择性热线辅助原子层沉积
机译:在不使用钨前驱体的情况下,在热线原子层沉积系统中沉积未掺杂和H掺杂的WO_x(x≤3)膜
机译:热丝辅助原子层沉积钨膜的电学表征
机译:通过原子层沉积法生长的润滑性纳米晶状氧化锌/氧化铝纳米层压板和二氧化锆单膜的结构和低温摩擦学。
机译:四(二甲基氨基)锆和臭氧原子层沉积生长的高k ZrO2薄膜的结构和介电性能
机译:衬底温度对中空阴极等离子体辅助原子层沉积生长GaN薄膜性能的影响
机译:等离子体增强原子层沉积ag薄膜的类似等离子体行为。