机译:化学扩增抗蚀剂的去保护反应研究
机译:化学放大抗蚀剂的脱保护反应研究
机译:固态Salt盐的电子束诱导反应对化学放大电子束的抵抗;与光解反应的比较
机译:添加光酸产生剂的聚苯乙烯基聚合物的脉冲辐射分解研究:极紫外光和电子束化学放大抗蚀剂的反应机理
机译:使用电离辐射(EUV,X射线,电子和离子诱导的反应)评估非化学和化学放大正性抗蚀剂的灵敏度
机译:砷化镓晶片的表面化学研究在化学放大的抗蚀剂构图过程中进行,并通过荧光进行抗蚀剂研究。
机译:基于纳米复合材料的柔性超灵敏电阻式气体传感器用于化学反应研究
机译:电子束诱导的锍盐在化学放大的电子束抗蚀剂的固态中的反应;与光解反应的比较。