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机译:反应性磁控溅射沉积的硬度和坚韧锡/ Ni纳米复合涂层的高通量优化
Ignacio Lopez-Cabanas; Javier LLorca; Raquel González-Arrabal; Efstathios I. Meletis; Jon M. Molina-Aldareguia;
机译:反应性直流不平衡磁控溅射制备TiAlN / Si3N4超硬纳米复合涂层的沉积与表征
机译:反应离子束辅助沉积沉积的硬而硬的纳米复合TiN-Ni涂层
机译:用反应磁控溅射沉积法在材料体系V–Al–N中沉积和表征硬涂层
机译:使用大功率脉冲磁控溅射(HPPMS)的氧化铝涂层的反应溅射沉积
机译:反应磁控溅射沉积的优化,以及氢在氢化非晶硅基材料中的扩散研究。
机译:磁控溅射与硬滤膜硬滤膜:环境与经济表演的比较
机译:反应性直流磁控溅射制备TiN / a-C超硬纳米复合涂层的腐蚀行为
机译:用于通过磁控管的靶涂覆基板的反应磁控溅射,包括:将与磁控管相对的基板布置;通过溅射雾化靶材料;以及将溅射的靶材料沉积到基板上
机译:用于溅射沉积源的磁性装置,磁控溅射沉积源以及利用磁控溅射沉积源在基板上沉积膜的方法
机译:用较小的溅射阴极对大衬底上的薄膜磁控脉冲溅射直流磁控反应溅射的方法和装置
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