机译:基于晶圆级真空封装的MEMS谐振器的高分辨率应变传感器的制造
机译:一种使用先进的MEMS工艺对具有嵌入式垂直馈通的SOI-MEMS器件进行晶圆级气密封装的方法
机译:使用玻璃上硅和溶解晶圆工艺的Pirani真空计用于MEMS真空包装的表征
机译:先进的MEMS(aMEMS)工艺用于制造具有嵌入式垂直馈通的晶圆级真空封装SOI-MEMS器件
机译:低温晶圆级MEMS封装和封装内湿度监控。
机译:基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器
机译:基于晶圆级真空封装MEMS谐振器的高分辨率应变传感器的制造