机译:Cu互连中Mn基屏障/ Ru衬里膜的化学机械抛光和平坦化,用于高级金属化节点
机译:用于先进的铜双镶嵌互连的超薄低电阻,高稳定性Ru-Mo-C无核势垒的制造
机译:金属碳纳米管互连的建模以进行电路仿真,并与可扩展技术的铜互连进行比较
机译:Ru,Co和Cu的大马士革基准尺寸尺度
机译:用交替方向-隐式有限差分-时域法研究芯片金属-绝缘体-半导体-金属互连。
机译:温度梯度下Cu / Sn / Cu互连中液-固界面处Cu6Sn5金属间化合物的生长动力学
机译:由于界面金属间化合物的生长,Cu-Sn互连的微机械特性和尺寸变化
机译:簇复杂复分解。双金属和三金属六核簇合物(mm'Ru4(millimicron3-H)2(CO)12(pph3)2)(m == m'== CU,ag或au)的合成,结构和动态行为; m == CU,m'== ag或au; m == ag,m'==