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Structure, Oxidation Resistance, Mechanical, and Tribological Properties of N- and C-Doped Ta-Zr-Si-B Hard Protective Coatings Obtained by Reactive D.C. Magnetron Sputtering of TaZrSiB Ceramic Cathode

机译:通过反应性D.C的N-和C掺杂Ta-Zr-Si-B硬防护涂层的结构,抗氧化性,机械和摩擦学性质.Tazrsib陶瓷阴极的磁控溅射

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