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Nanoscale Characterization Of Ultra-Thin Dielectrics Using Scanning Capacitance Microscopy

机译：使用扫描电容显微镜纳米级特征超薄电介质

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O. Ligor; B. Gautier; A. Descamps; D. Albertini; L. Militaru; N. Baboux; Erik M. Secula; David G. Seiler; Rajinder P. Khosla; Dan Herr; C. Michael Garner; Robert McDonald; Alain C. Diebold;
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年度 2009
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