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Comparaciones ópticas y estructurales de las películas de Óxido de Silicio rico en Silicio (SRO) depositadas por las técnicas LPCVD y HFCVD

机译：LPCVD和HFCVD技术沉积的硅富硅氧化膜（SRO）的光学和结构比较

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Haydee Patricia Martínez Hernández; José Alberto Luna-López; Adán Luna-Flores; José Álvaro David Hernández-De la Luz;
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年度 2019
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