机译:通过反应磁控溅射沉积和快速热退火制备的富含含硅氧化硅膜的电子发射性能
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机译:通过等离子体增强化学气相沉积制备的退火富硅氧化硅膜中的硅纳米晶形成
机译:通过高功率脉冲磁控溅射制备的富含硅的Al-Si-N膜的结构,机械和光学性能
机译:反应磁控溅射制备退火铟锡钽氧化膜的性质
机译:脉冲反应直流磁控溅射技术制备的高介电常数薄膜的沉积和表征。
机译:反应磁控溅射制备二元氧化铜薄膜的相变和物理性质
机译:射频反应磁控溅射沉积制备微晶硅薄膜