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Investigation on the Differential Quadrature Fabry–Pérot Interferometer with Variable Measurement Mirrors

机译：具有可变测量镜的差分正交 - Pérot干涉仪的研究

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作者
Yi-Chieh Shih; Pi-Cheng Tung; Wen-Yuh Jywe; Chung-Ping Chang; Lih-Horng Shyu; Tung-Hsien Hsieh;
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作者单位

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年度 2020
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1. MEMS Fabry–Pérot Interferometers With Double Membrane Mirrors for Improved Mirror Parallelism [J] . Christian Huber, Pengfei Liu, Christoph Krämmer, Microelectromechanical Systems, Journal of . 2018,第5期

机译：具有双膜镜的MEMS法布里-珀罗干涉仪，可改善镜面平行度
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