首页>
外文OA文献
>ОСОБЛИВОСТІ ПОБУДОВИ СИСТЕМ ЕЛЕКТРОЖИВЛЕННЯ ІНВЕРСНОЇ МАГНЕТРОННОЇ РОЗПОРОШУВАЛЬНОЇ СИСТЕМИ ДЛЯ ФОРМУВАННЯ БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ ПОКРИТТІВ (ПРАКТИЧНІ АСПЕКТИ РОЗРОБКИ РЕЗИСТИВНИХ ЛАНЦЮЖКІВ У СКЛАДІ ГЕНЕРАТОРА ПЛАЗМИ)
【2h】
ОСОБЛИВОСТІ ПОБУДОВИ СИСТЕМ ЕЛЕКТРОЖИВЛЕННЯ ІНВЕРСНОЇ МАГНЕТРОННОЇ РОЗПОРОШУВАЛЬНОЇ СИСТЕМИ ДЛЯ ФОРМУВАННЯ БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ ПОКРИТТІВ (ПРАКТИЧНІ АСПЕКТИ РОЗРОБКИ РЕЗИСТИВНИХ ЛАНЦЮЖКІВ У СКЛАДІ ГЕНЕРАТОРА ПЛАЗМИ)