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【2h】

Quartz‐Based Cantilevers: Soft‐Chemistry‐Assisted On‐Chip Integration of Nanostructured α‐Quartz Microelectromechanical System (Adv. Mater. Technol. 3/2021)

机译：基于石英的悬臂：纳米结构α-石英微机电系统的软化化学辅助片上整合（ADV。Mater。Technol.3 / 2011）

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Claire Jolly; Andres Gomez; David Sánchez‐Fuentes; Dilek Cakiroglu; Raïssa Rathar; Nicolas Maurin; Ricardo Garcia‐Bermejo; Benoit Charlot; Martí Gich; Michael Bahriz; Laura Picas; Adrian Carretero‐Genevrier;
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