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【2h】

An Analytical Metal Resistance Model and Its Application for Sub-22-nm Metal-Gate CMOS

机译：分析金属电阻模型及其对Sub-22-NM金属栅极门CMOS的应用

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Xin Miao; Ruqiang Bao; Unoh Kwon; Keith Wong; Werner Rausch; Weihao Weng; Richard Wachnik; Stephan Grunow; Vijay Narayanan; Xiuling Li; Siddarth Krishnan;
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年度 2015
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