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Rhenium Metal and Rhenium Nitride Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition

机译：由原子层沉积生长的铼金属和氮化铼薄膜

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Jani Hämäläinen; Kenichiro Mizohata; Kristoffer Meinander; Miika Mattinen; Marko Vehkamäki; Jyrki Räisänen; Mikko Ritala; Markku Leskelä;
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年度 2018
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