首页> 外文OA文献 >A5.1 Design, Simulation, Fabrication and Characterization of Piezoelectric MEMS Cantilever for Gas Density and Viscosity Sensors Applications

【2h】

A5.1 Design, Simulation, Fabrication and Characterization of Piezoelectric MEMS Cantilever for Gas Density and Viscosity Sensors Applications

机译：A5.1气体密度和粘度传感器的压电MEMS悬臂的设计，仿真，制造和表征

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
A. Mehdaoui; C. Huber; J. Becker; F. Schraner; L. Villanueva;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2021
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Design, fabrication and characterization of piezoelectric micro-cantilever operated in liquid environment for ultrasound energy source applications [J] . Kun Hoon Baek, Yeong-Tai Seo, Yong-Seung Bang, Microsystem Technologies . 2011,第8期

机译：在超声环境下在液体环境中工作的压电微悬臂梁的设计，制造和表征
2. Design, fabrication and characterization of piezoelectric micro-cantilever operated in liquid environment for ultrasound energy source applications [J] . Kun Hoon Baek, Yeong-Tai Seo, Yong-Seung Bang, Microsystem technologies . 2011,第8期

机译：在超声环境下在液体环境中工作的压电微悬臂梁的设计，制造和表征
3. Design, fabrication and characterization of a piezoelectric MEMS diaphragm resonator mass sensor [J] . Zhongxu Hu, John Hedley, Neil Keegan, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2013,第12期

机译：压电MEMS膜片谐振器质量传感器的设计，制造和表征
4. Enhanced Piezoelectric $mathrm{AL}_{1-mathrm{X}}mathrm{SC}_{mathrm{X}}mathrm{N}$ RF-MEMS Resonators for Sub-6 GHz RF-Filter Applications: Design, Fabrication and Characterization [C] . Andreas Bogner, Ruediger Bauder, Hans-Joerg Timme, IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems . 2020

机译：用于子模块的增强型压电 $ mathrm {AL} _ {1- mathrm {X}} mathrm {SC} _ { mathrm {X}} mathrm {N} $ RF-MEMS谐振器-6 GHz射频滤波器应用：设计，制造和表征
5. Design, Fabrication and Characterization of CMOS-MEMS Novel Resonator with Embedded Heater for Filter, and Temperature Sensor Applications. [D] . Goktas, Hasan. 2015

机译：具有用于滤波器和温度传感器应用的嵌入式加热器的CMOS-MEMS新型谐振器的设计，制造和表征。
6. Design and Fabrication of a MEMS Flow Sensor and Its Application in Precise Liquid Dispensing [O] . Yaxin Liu, Liguo Chen, Lining Sun 2009

机译：MEMS流量传感器的设计制造及其在精密液体分配中的应用
7. Design and Fabrication of Cantilever MEMS Sensor Model for Electro-Chemical Gas Sensor [O] . 2020

机译：悬臂式电气化学气体传感器的设计与制造悬臂式传感器模型

A5.1 Design, Simulation, Fabrication and Characterization of Piezoelectric MEMS Cantilever for Gas Density and Viscosity Sensors Applications

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅