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Influence of Formation and Decomposition of Solid Solution on Resistivity and Hillock Suppression in Sputtered Al-Ta Thin Films

机译：固体溶液形成与分解对溅射Al-TA薄膜电阻率和丘陵抑制的影响

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作者
Eiji Iwamura; Takashi Ohnishi; Kazuo Yoshikawa;
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年度 1995
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