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Actinic damage of Y/Mo multilayer Bragg optics in a tabletop extreme ultraviolet laser

机译：桌面极端紫外激光器中Y / MO多层布拉格光学造成的抗道损伤

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Davide Bleiner;
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年度 2019
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1. Actinic damage of Y/Mo multilayer optics in a table-top plasma-driven x-ray laser [J] . Davide Bleiner, Sergiy Yulin, Julia Martynczuk, Applied optics . 2014,第22期

机译：台式等离子驱动X射线激光器中Y / Mo多层光学元件的光化学损伤
2. Damage of multilayer optics with varying capping layers induced by focused extreme ultraviolet beam [J] . Alain Jody Corso, Paola Zuppella, Frank Barkusky, Journal of Applied Physics . 2013,第20期

机译：聚焦紫外光束对覆盖层变化的多层光学器件的损坏
3. Analysis of the damage effect of femtosecond-laser irradiation on extreme ultraviolet Mo/Si multilayer coating [J] . M. Suman, G. Monaco, P. Zuppella, Thin Solid Films . 2012,第6期

机译：飞秒激光辐照对极紫外Mo / Si多层镀膜的破坏作用分析
4. Actinic Damage of Y/Mo Multilayer Bragg-Optics by a Tabletop Plasma-driven Extreme Ultraviolet Laser [C] . Davide Bleiner Spie Optics + Optoelectronics . 2019

机译：桌面等离子体驱动的极端紫外激光器Y / MO Multidayer Bragg-OPTIC的光化损坏
5. Soft x-ray/extreme ultraviolet images of the solar atmosphere with normal incidence multilayer optics [D] . Lindblom, Joakim Fredrik 1990

机译：具有法向入射多层光学系统的太阳大气的软X射线/极紫外图像
6. Ultraviolet Laser Damage Dependence on Contamination Concentration in Fused Silica Optics during Reactive Ion Etching Process [O] . Laixi Sun, Ting Shao, Zhaohua Shi, 2018

机译：反应离子刻蚀过程中紫外激光损伤对熔融石英光学器件中污染物浓度的影响
7. Damage of multilayer optics with varying capping layers induced by focused extreme ultraviolet beam [O] . Alain Jody Corso, Paola Zuppella, Frank Barkusky, 2013

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8. Multilayer coated optics for an alpha-class extreme ultraviolet lithography211 system [R] . Folta, J. A., Grabner, R. F., Hudyma, R. M., 1999

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