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【2h】

Optimization of the depth resolution for deuterium depth profiling up to large depths

机译：优化氘深度分析的深度分辨率，高度分析

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B. Wielunska; M. Mayer; T. Schwarz-Selinger;
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年度 2016
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正文语种 eng
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1. Corrigendum to 'Optimization of the depth resolution for deuterium depth profiling up to large depths' [Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 387 (2016) 103-114] [J] . Wielunska B., Mayer M., Schwarz-Selinger T. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. B, Beam Interactions with Materials and Atoms . 2019,第FEBa1期

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2. Optimization of the depth resolution for deuterium depth profiling up to large depths [J] . B. Wielunska, M. Mayer, T. Schwarz-Selinger Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. B, Beam Interactions with Materials and Atoms . 2016,第Nova15期

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4. SENSITIVITIES OF DEPTH RESOLUTION TO SAMPLING DEPTH AND SPUTTER ION ENERGY IN XPS DEPTH PROFILING [C] . Ji-Feng Ying, Mingsheng Zhang, Rong Ji, Pacific Rim International Congress on Advanced Materials and Processing . 2013

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5. Development of high-resolution depth profiling of ultra shallow dopant implants with SIMS. [D] . Loesing, Rainer. 2001

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