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机译:共振惯性微传感器中的非线性力学
Claudia Comi; Valentina Zega; Alberto Corigliano;
机译:共振惯性微传感器中的非线性力学克劳德纳·塞加,Alberto Corigliano
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机译:用于惯性测量系统的集成微机械共振传感器。
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机译:表面技术产生的可变厚度的惯性微传感器共振
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