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机译:“通过气相化学沉积合成材料,特别是金刚石的方法和装置,以及通过化学气相沉积形成硅锗半导体的方法。”
机译:二元三元金属硫属化物材料及其制造和使用化学气相沉积法,原子层沉积法或湿法化学合成金属硫属素的方法
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