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Research on “Cylinder-Four-Beam” Microstructure Improvement of MEMS Bionic Vector Hydrophone

机译：“圆柱 - 四梁”微观结构改进MEMS仿生载体水母

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Zeming Jian; Yifan Huang; Lei Nie; Mengran Liu; Guojun Zhang;
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年度 2021
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1. Research on “Cylinder-Four-Beam” Microstructure Improvement of MEMS Bionic Vector Hydrophone [J] . Zeming Jian, Yifan Huang, Lei Nie, Journal of Sensors . 2021,第a期

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2. Improvement of the MEMS bionic vector hydrophone [J] . Zhang Guojun, Wang Panpan, Guan Linggang, Microelectronics journal . 2011,第5期

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