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【2h】

Effect of oxygen addition to an argon plasma on etching selectivity of poly(methyl methacrylate) to polystyrene

机译：氧气加入对氩等离子体的影响对聚苯乙烯的聚（甲基丙烯酸甲酯）的蚀刻选择性

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Makoto Satake; Taku Iwase; Masaru Kurihara; Nobuyuki Negishi; Yasuhiko Tada; Hiroshi Yoshida;
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年度 2013
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