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【2h】

Wafer-Scale Selective-Area Deposition of Nanoscale Metal Oxide Features Using Vapor Saturation into Patterned Poly(methyl methacrylate) Templates

机译：使用蒸汽饱和将纳米金属氧化物特征的晶片级选择性区域沉积在图案化聚（甲基丙烯酸甲酯）模板中

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Erinn C. Dandley; Paul C. Lemaire; Zhongwei Zhu; Alex Yoon; Lubab Sheet; Gregory N. Parsons;
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年度 2016
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