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Nanofabrication of Three-Dimensional Imprint Diamond Molds by ECR Oxygen Ion Beams Using Polysiloxane

机译：使用聚硅氧烷的ECR氧离子束纳米三维压印金刚石模具

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Shuji Kiyohara; Tomoyuki Kashiwagi; Hirofumi Takikawa; Yuichi Kurashima; Yoshio Taguchi; Yoshinari Sugiyama;
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年度 2009
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