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机译:基于低功率激光加工的细胞微型仪的等离子体光刻方法
Sho Yokoyama Yuki Kamei;
机译:柔性模具直接激光光刻技术制作三维软材料微图案
机译:多功能工具箱,用于通过激光光刻技术对蛋白质进行多重微图案化
机译:用于水凝胶表面微图案的激光扫描光刻
机译:研究激光产生的等离子体产生的极紫外线,作为下一代光刻的来源。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:激光干涉光刻:聚合物表面的微图案化,用于细胞粘附
机译:通过使用ArF准分子激光吸收光刻工艺中形成的微光而吸收的有机抗反射成分
机译:使用矩形二维顶帽激光束轮廓或线性一维顶帽激光束轮廓的激光划片工艺和等离子蚀刻工艺的混合晶圆切割方法
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